美国穆尔纳米技术公司是世界级超精密加工系统和技术研发专家。
超精密纳米加工系统，包括：单点金刚石车削、超精密磨削、超精密铣削、玻璃模压技术等。
1、250UPLmp超精密数控连续轨迹加工机床（可选配为二、三或四轴机床）
型号：250UPL
回转能力：300mm （可定制更大回转能力）
机床特性：
• 业界领先的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率 8.4皮米；
• 整体式复合大理石床身结构，紧凑型空间设计，优化空气隔震系统（可选配自
动调平阻断式空气隔震系统），提高热稳定性和减震性；
• 全约束式油静压导轨，提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能；
• 通过网络可进行实时设备监控以及远程 操作控制；
• Nano SMART– 业界首款触摸/ 滑动操作界面，应用了大量新功能，其中包括运行程序文件大小：最高可达5GB；
• 高刚性多孔石墨涂层空气主轴，最高转速响；5000RPM. 优化参数减少主轴跳动影响。
• 主轴轴向跳动 ≤4nm ；
• 高刚性整体人造花岗岩床身增强型微调刀座，改善表面粗糙度，改善整体加工面的车刀纹；
• 移动轴跟随误差减少40%；
• 预埋排液槽，适合大流量冲液加工；
• 可实现两轴对称或自由曲面加工；
• ARM 4 PMAC 配备核处理器 1.2GHZ DELTA TAU POWER四核 ARM；
• 支持同时计算高密度数据刀具路径和运 行监控，在整个加工过程中实现 PMAC数据和系统运行状况的传输。
Nanotech 250UPLmp技术指标表
主机 描述
系统配置 超精密 2、3 或 4 轴 CNC 机床，“
T”型布局 最大加工范围250UPLmp：直径 300mm x 长 200mm （选配 B 轴时候加工口径为 150mm）
床身结构 250UPLmp：整体复合环氧树脂花岗岩一体化冷却槽和嵌入碳素纤维加固
隔震装置 优化空气隔震系统。可选配自动调平阻断式空气隔震系统
计算机配置 Intel i5 2.4GHz处理器，64位Windows 10专业版，16G内存，10/100/1000以太网接口，DVD 光驱以及500GB 硬盘，22" 多点触摸屏，USB接口
控制系统 基于Delta Tau 1.2GHz四核 ARM PowerPMAC嵌入式实时64位Linux 运动控制器，采用 Nanotech 的新产品基于Windows 10的人机界面，带有触摸/ 滑动手势交互显示。
编程分辨率 线性分辨率 0.01 nm/ 角度分辨率 0.0000001°
性能表现（X/Z两轴车削）( 使用 Zygo Nuview白光干涉仪测量，没有安装B轴情况下) ：
材料-高磷镀镍，直径7.75mm , 4.5mm曲率半径凸球面表面粗糙度（Sa）：1.0 nm（测量时采用50 倍物镜和2倍目镜，同时使用10 阶多项次滤波）在 0°（使用遮罩排除因为刀具高度或者刀具中心变化而产生的中心点）、10°、20°和 30°测量。
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机，提供温度控制循环冷却水，透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却，以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.1℃的内置 PID 控制器。
转速范围 50 至 5,000 rpm ( 双向 )
加工口径 300mm
承载能力（径向）85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力（轴向）180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性（鼻端）130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷直流电机
跳动误差（最高3000rpm） 轴向：≤ 4.0 nm 径向:≤ 10.0 nm 25UPR 滤波条件下测量
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线性轴
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X
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Z
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类型
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全约束油静压，闭式导轨
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全约束油静压，闭式导轨
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行程
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250mm (10.2")
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200mm (8")
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驱动系统
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无刷直流直线电机
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无刷直流直线电机
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反馈类型
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激光全息线性光栅尺
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激光全息线性光栅尺
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反馈分辨率
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0.0084 nm
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0.0084 nm
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进给速度（最大）
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4500 mm / min
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4500 mm / min
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直线度（在关键方向 )
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250UPLmp:全行程0.2μm
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250UPLmp:全行程0.2μm |
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静压油装置
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紧凑，低流量，低压系统，配备封闭式循环伺服控制以及减少油泵波动的压力增量器
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选配旋转轴
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B
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C （主轴选配）
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类型
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油静压轴承
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多孔石墨涂层空气轴承（液体冷却）
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行程
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360°（双向）
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360°（双向）
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驱动系统
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无刷直流电机
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无刷直流电机
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轴向刚性
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875 N/μm
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详见上述主轴指标
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径向刚性（鼻端）
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260 N/μm
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详见上述主轴指标
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定位精度
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±1.0 弧秒（经补偿）
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±1.0 弧秒（经补偿）
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反馈分辨率
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0.005 弧秒
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0.01 弧秒
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最大速度（定位模式）
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50 rpm
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3,000 rpm
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跳动精度
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轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm
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轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm
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咨询电话：135 2207 9385
2、Moore Nanotech® 250UPLV3, 450UPLV3超精密数控连续轨迹加工机床
（可选配为二、三或四轴机床）
型号：450UPLV3
回转能力：450mm（可定制更大回转能力）
型号：250UPLV3
回转能力：300mm（可定制更大回转能力）
机床特性：
• 10,000 rpm，专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴–全转速范围内主轴跳动小于12.5纳米，C
轴反馈分辨率为 0.01弧秒；
• 业界领先的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率8.4 皮米；
• 采用天然花岗岩床身，紧凑型空间设计，优化空气隔震系统（可选配自动调平阻断式空气隔震系统），提高热稳定性和减震性；
• 全约束式油静压导轨，提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能；
• Delta Tau ARM四核处理器，包括DAQ高速数据传输模块。与单核处理器相比，计算能力提高了4倍，并且能够在整个加工过程中监控机器运转状况以便优化流程；
• 专用以太网 / 局域网连接允许工厂（或客户）实时监控和控制机器，实现远程控制机床所有功能，以便对任何控制或编程问题进行即时诊断和故障排除；
•Nano SMART – 业界首款触摸 / 滑动操作界面，应用了大量新功能，其中包括运行程序文件大小：最高可达 5GB；
• 可选配件：可拆卸油静压垂直Y 轴，旋转工作台B 轴，主轴内置任意定位控制C轴，超精密磨削砂轮主轴以及磨削附件，快刀伺服系统，光学对刀仪，喷雾式冷却系统，真空吸盘，微调式刀座，NanoCAM4 编程软件，机床在线测量和误差补偿系统（WECS）以及温控系统。
Nanotech 250UPLV3 / 450UPLV3技术指标表
主机 描述
系统配置 超精密 2、3 或 4 轴 CNC 机床，“T”型布局
最大加工范围 250UPLV3：直径300mm x长200mm（选配B轴时候加工口径为150mm）
450UPLV3：直径450mm x长300mm（选配B轴时候加工口径为200mm）注：可定制更大的加工口径。
床身结构 250UPLV3：天然花岗岩床身配有导油槽，不锈钢护罩保护
450UPLV3 ：整体复合环氧树脂花岗岩一体化冷却槽和嵌入碳素纤维加固
隔震装置 优化空气隔震系统。可选配自动调平阻断式空气隔震系统
计算机配置 Intel i5 2.4GHz处理器，64位Windows 7，16G 内存，10/100/1000以太网接口，DVD-RW 光驱以及 500GB 7200RPM移动硬盘，22"多点触摸屏，USB接口
控制系统 基于Delta Tau 1.2GHz四核ARM PowerPMAC嵌入式实时64位Linux运动控制器，采用Nanotech的新产品基于Windows 10 的人机界面，带有触摸/滑动手势交互显示。
编程分辨率 线性分辨率 0.01 nm/ 角度分辨率 0.0000001°
性能展示 （使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量同一个元件）：
材料- 高纯度铝合金，75mm口径, 250mm曲率半径凸球面（所有精度和粗糙度的测量在同一个元件的同一表面完成）面型精度（P-V）：≤ 0.1μm / 表面粗糙度（Ra）：≤ 2.0 nm
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机，提供温度控制循环冷却水，透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却，以达到维持主轴和刀具 中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.5°F 的内置 PID 控制器。
转速范围 50至10,000 rpm (双向)
加工口径 250UPLV3：300mm
450UPLV3：450mm
承载能力（径向）85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力（轴向）180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性（鼻端）130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷直流电机
跳动精度 轴向：≤ 12.5 nm 径向 :≤ 12.5 nm
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选配旋转轴
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B
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C （主轴选配）
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类型
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油静压轴承
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多孔石墨涂层空气轴承（液体冷却）
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行程
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360°（双向）
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360°（双向）
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驱动系统
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无刷直流电机
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无刷直流电机
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轴向刚性
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875 N/μm
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详见上述主轴指标
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径向刚性（鼻端）
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260 N/μm
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详见上述主轴指标
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定位精度
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±1.0 弧秒（经补偿）
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±1.0 弧秒（经补偿）
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反馈分辨率
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0.005 弧秒
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0.01 弧秒
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最大速度（定位模式）
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50 rpm
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3,000 rpm
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跳动精度
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轴向:≤0.1μm 径向:≤0.1μm
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轴向:≤12.5nm 径向:≤12.5nm
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3、Moore Nanotech® 650FGV3超精密自由曲面机床
( 可选配为三、四或五轴机床 )
机床特性：
• 适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服（旋转式）进行自由曲面加工，栅格飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工；
• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴– 全转速范围内主轴跳动小于12.5 纳米，C轴反馈分辨率为0.01 弧秒；
• 业界领先的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率8 皮米；
• 优化空气隔震系统（可选配自动调平阻断式空气隔震系统），全约束式油静压导轨，X
轴行程350mm，Z 轴行程300mm，Y轴垂直行程 150mm；
• Delta Tau ARM四核处理器，包括DAQ高速数据传输模块。与单核处理器相比，计算能力提高了4 倍，并且能够在整个加工过程中监控机器运转状况以便优化流程；
• 专用以太网 / 局域网连接允许工厂（或客户）实时监控和控制机器，实现远程控制机床所有功能，以便对任何控制或编程问题进行即时诊断和故障排除；
•Nano SMART –业界首款触摸 / 滑动操作界面，应用了大量新功能，其中包括运行程序文件大小：最高可达 5GB；
• 可选配件：旋转工作台B 轴，主轴内置任意定位控制C轴，A 轴，超精密铣削和磨削主轴以及附件，快刀伺服系统，光学对刀仪，喷雾式冷却系统，真空卡盘，微调式刀座，
NanoCAM4 编程软件，机床在线测量和误差补偿系统（WECS）以及加工区精密温控系统。
Nanotech 650FGV3技术指标表
主轴 标准指标
类型 专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却 通过闭环控制冷水机，提供温度控制循环冷却水，透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却，以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为土 0.5°F的内置 PID 控制器。
安装 嵌入式安装于 Y 轴托架，以增强外圈刚性并降低热增长。主轴轴心安装于绝热外壳内以增强热稳定性
转速范围 50 至 10,000 rpm ( 双向 )
加工口径 最大到 750mm
承载能力（径向）85 Kg @ 7bar(185 lbs @ 100psi.)/102 Kg @ 10bar(225 lbs @ 145psi.) @鼻端
承载能力（轴向）180 Kg @ 7bar(397 lbs @ 100psi.) @鼻端
径向刚性（鼻端）130 N/μm @ 7bar (743,000 Ibs/in @ 100psi)
轴向刚性 438 N/μm @ 7bar (2,500,000 Ibs/in @ 100psi)
驱动系统 无刷电机
跳动精度 轴向：≤ 12.5 nm 径向：≤ 12.5 nm
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选配旋转轴
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B
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C （主轴选配）
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类型
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油静压轴承
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空气轴承沟槽补偿（液体冷却）
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行程
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360°（双向）
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360°（双向）
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驱动系统
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无刷直流电机
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无刷直流电机
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轴向刚性
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875 N/μm
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详见上述主轴指标
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径向刚性（鼻端）
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260 N/μm
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详见上述主轴指标
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定位精度
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±1.0 弧秒
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±1.0 弧秒
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反馈分辨率
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0.005 弧秒
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0.01 弧秒
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最高转速（定位模式）
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50 rpm
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3,000 rpm
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跳动精度
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轴向:≤ 0.1μm 径向:≤ 0.1μm
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轴向:≤ 12.5nm 径向:≤12.5nm
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4、Moore Nanotech® HDL2600超精密卧式数控辊筒车床
( 可配置为四轴或五轴机床 )
机床特性：
• 基于P C的数控操作系统，运行于Windows XP环境，编程分辨率为1纳米；
• 业界领先的激光全息线性光栅尺和直线解码器，X轴反馈分辨率：0.034纳米，Z轴反馈，分辨率：1纳米；W轴反馈分辨率：100纳米；
• 数控可编程W轴，集成“NanoLock”液压制动系统（在加工过程中提供最高的尾座刚性，又利于灵活快速装卸载）
• 全约束式油静压导轨，提供平顺、高刚性和出色减震能力的线性运动性能；
• 线性电机快速驱动，提高工艺效率和表面质量，维护方便；
• 独有油静压主轴箱（带C轴）和尾座主轴，配主轴恒温冷却系统以提高热稳定性；
• 加工范围：HDL2600-SD -直径650mm，卡盘间长度3100mm，车削区间2600mm，最大载重1800kg；HDL2600-HD -直径650mm，卡盘间长度3100mm，车削区间2600mm，最大载重3000kg；
• X 轴行程：350mm，Z 轴行程：2615mm，W轴行程：2000mm；
• 可选配件：油静压旋转工作台B轴，快刀伺服系统，光学对刀仪，温控风淋系统，NanoTEMP
温度监控系统，NanoBalance动平衡软件，喷雾式冷却系统，废屑收集系统。
Nanotech HDL2600-SD / HDL2600-HD技术指标表：
