Φ450mm；Φ200mm；Φ300mm；

1、日本东京精密半导体高刚性磨床HRG300

Φ450mm

高刚性一轴磨床HRG300

它支持多种应用，从直径可达 Φ450mm 的单晶圆研磨到固定在支撑底座上的小直径工件的批量研磨。

特征

高刚性

通过将加工点定位在三角形布置的滑动导轨的中心并将横向进给轴定位在加工点上方，该结构因磨削载荷而产生的机械变形较小。

加工效率

由于其高刚性，可以在短时间内进行加工，同时最大限度地减少磨削损伤。

加工成本低

由于其高刚性，可以加工出适当的自生刃。延长磨刀石的使用寿命。

配备IPG进行批量处理

配备了与批量处理兼容的过程中测量仪，即使在批量处理过程中也可以在测量晶圆厚度的同时处理晶圆。

着装单元（可选）

可以以任意设定的频率进行间歇修整。

2、日本东京精密半导体高刚性磨床HRG300A

全自动高刚性一轴磨床

除了最大Φ200mm的全自动传输外，它还支持框架安装晶圆和最大50mm厚度的晶锭传输等广泛应用。

特征

我们可以完全自动化各种加工工件，包括最大Φ200mm的晶圆、安装在切割框架上的晶圆、

最大300mm的PLP基板以及最大50mm（5kg）的晶锭和批量加工。它还可以改装为HRG300。

3、日本东京精密半导体高刚性磨床HRG200X

咨询电话：13522079385

特征

短时间内实现无损伤加工

加工成本低

高精度加工

达到镜面效果