1、日本DISCO晶圆切割机DFD6240
世界最小级的单轴全自动切割机
Φ200 mm
单主轴
考虑到生产现场需求的设计
通过追求框架结构和搬运单元布局的优化，虽然是全自动机器，但是实现了手动机（本公司DAD3350）的占地面积（本公司DFD641相比减少了约20％）。而且还减少了电力和空气消耗，机器的设计顾及到运行成本和环保。除此此外，搭载了更容易掌握加工状态和各种信息的状态监视功能(Condition Monitor) ，有助于日常检查和流程管理。
提高加工品质
通过采用为增强径向刚性而新开发的同步主轴™，提高了加工品质的稳定性。并且，标准配置了可在触摸式液晶显示器上直接输入切割水流量的监控功能，可提供稳定的加工结果。另外，为了有效地防止切割过程中的微粒粘附现象，可搭载特殊选配的切割部位水气二流体喷射机构，以及在清洗加工物时可高效发挥清洗效果的离心清洗部位的水气二流体清洗机构。
提高操作性能
为了提高更换切割刀片时的操作效率，在该设备上采用了切割刀架罩自动开合机构和主轴锁定机构，可以从设备的前方进行更换刀片。并且搭载了LCD触摸屏和GUI,更有效于操作的简便性。
提高生产效率
通过提高每个轴的移动速度来提高生产效率。
主轴阵容
标准配置为高刚性的1.2 kW主轴。除此之外，还可选择采用center thrust结构，进一步提高刚性的1.8 kW主轴（使用2英寸切割刀片，选配）和2.2 kW主轴（使用3英寸切割刀片，选配），适用于加工玻璃，陶瓷等加工负载较高的材料。
加工物流程系统
下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内
Specifications
Specification Unit 1.2, 1.8 kW 2.2 kW
Max. workpiece size - Φ8 inch
X-axis Cutting range mm 210
Cutting speed mm/s 0.1 ～ 600
Y-axis Cutting range mm 210
Index step mm 0.0001
Positioning accuracy mm Within 0.003/210
(Single error) Within 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 19.22 (For Φ2 inch blade) 19.9 (For Φ3 inch blade)
Moving resolution mm 0.00005
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 380
Spindle Rated torque N・m 0.19（1.2 kW）
0.29（1.8 kW） 0.7
Rotation speed range min‐1 6,000 ～ 60,000 3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H) mm 900 × 1,190 × 1,800
Equipment weight kg Approx. 1,200
2、日本DISCO晶圆切割机DFD6340
双主轴切割机的标准机型
Φ200 mm
对向式双主轴
DBG
Package Singulation
生产效率可提高30%～40%
采用对向式双主轴结构以及通过缩短刀片主轴的间距，在进行阶梯式/斜角式切割加工时，最大可提高30%的生产效率，而在双刀切割加工时，最大可提高40%的生产效率（本公司DFD651相比）。
占地面积减少17%
采用新型门式结构以及减少圆晶搬运部占有空间，与本公司的全自动切割机DFD651相比，节省了17%的占地面积。
减少电力以及压缩空气的消耗量
使用最新的节能技术，以往机型相比，压缩空气消耗量最大可减少24％，电力消耗量最大可减少33%。
稳定的加工品质
通过采用增强主轴径向刚性的同步主轴™，提高了加工质量的稳定性。另外，可搭载对圆晶有更好清洗效果的特殊选配水气双流体离心清洗机构。
使用双NCS※，提高原点测试速度
在Z1轴与Z2轴上同时搭载了NCS（Non-Contact Setup 非接触式测高功能），减少了切割的中断时间。
※ 选配
通过两台显微镜※实现高速切痕检测
两主轴上各自搭载了高倍显微镜，大幅度地缩短了加工中检查切痕的时间。
※ 选配
切割水的稳定供给
可根据产品参数(Device Data)设定切割水流量，并且在加工中可监视流量，时常实现稳定的流量管理。
操作简便
通过搭载15英寸LCD触摸屏及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。加工状况，设备的各种状态均可在控制画面上同步显示，只需触摸控制画面上的按钮，就可以简单地完成操作。此外还安装了观察台，可以在全自动操作时，取出/观察切割后的晶圆。
可动式液晶控制屏
加工物流程系统
下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内
Specifications
Specification Unit 1.2, 1.8 kW 2.2 kW
Max. workpiece size - Φ8 inch
X-axis Cutting range mm 210
Cutting speed mm/s 0.1 ～ 600
Y1･Y2-axis Cutting range mm 210
Index step mm 0.0001
Positioning accuracy mm Within 0.002/210
(Single error) Within 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 19.22 (For Φ2 inch blade) 19.9 (For Φ3 inch blade)
Moving resolution mm 0.00005
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 380
Spindle Rated torque N・m 0.19（1.2 kW）
0.29（1.8 kW） 0.7
Rotation speed range min‐1 6,000 ～ 60,000 3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H) mm 1,180 × 1,110 × 1,850
Equipment weight kg Approx. 1,600
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
3、日本DISCO晶圆切割机DFD6363
出色的工艺扩展性，对应Φ300 mm的旗舰机型
Φ300 mm
对向式双主轴
DBG
兼用于框架搬送规格和框架/圆晶搬送规格※
一台装置即可对应全切/半切等多样化工艺，既可减少零部件更换的作业时间，又可有效地抑制零部件更换时可能发生的人为失误。而且，可同时对应标准晶圆储料盒(Φ200 mm/Φ300 mm)，和FOUP晶圆储料盒。
※ 选配
自动更换切割刀片※(ABC)
自动检测刀片寿命，自动进行从更换刀片到重新开始切割等一系列的操作,实现最少的停机时间。而且还能有效地防止加工物变更时的刀片品种安装错误。同时提高了可追踪性。
※ 选配
ABC单元
提升基本性能
通过搭载19英寸显示器及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。此外，通过功能改良后的NCS(Non-Contact Setup)提高生产率，以及通过搭载独自开发的1.8 kW主轴（60,000 min-1）有望提高加工稳定性。
※ 选配
19英寸显示器
加工物流程系统
（框架搬送规格时）
下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内
咨询电话：13522079385
Specifications
Specification Unit 1.8 kW, High-speed rotation 2.2 kW
Max. workpiece size mm Φ300
X-axis Cutting range mm 310
Cutting speed mm/s 0.1 ～ 1,000
Y1･Y2-axis Cutting range mm 310
Index step mm 0.0001
Positioning accuracy mm Within 0.002/310
(Single error) Within 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 14.7 (For Φ2 inch blade) 14.9 (For Φ3 inch blade)
Moving resolution mm 0.0000002
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 380
Spindle Rated torque N・m 0.29(1.8 kW)
0.19(High-speed rotation) 0.7
Rotation speed range min‐1 6,000 ～ 60,000（1.8 kW）
20,000 ～ 80,000(High-speed rotation) 3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H) mm 1,200 × 1,550 × 1,800
Equipment weight kg Approx. 1,800
4、日本DISCO晶圆切割机DFD6561
追求节省占地面积的Φ300 mm的切割机
Φ300 mm
对向式双主轴
节省空间布局
搭载了独创的短加工主轴。优化了门型结构的布局，设备主体的占地面积减少了16%。此外，可从设备的正面进行所有的保养，无需在设备侧面操作，包括保养区在内，布局面积减少了20 %。Φ300 mm切割机最适合于需要平列放置多台机器的工厂。（与DFD6362相比）
以直观的操作辅助操作人员
通过LCD触摸屏，可在使用显微镜画面的同时进行目标识别等操作。此外，通过设备状况的图表显示和MTBA（平均辅助间隔时间）状态显示，操作人员可以根据图表掌握设备的运转状况。当异常发生时画面上会给予处理指示，以辅助故障排除操作。
高刚性主轴
采用高刚性主轴，进一步实现加工稳定性。
Non-contact setup
采用NCS（非接触式测高）, 高精度・高速地测量刀片磨损量。
同步控制切割加工轴(X,Y,Z)
预先测量放置圆晶工作台的高度，可精确的控制刀片的切割深度。（特殊对应）
丰富的微尘粒子对策选项
可选择作为微尘粒子对策选项而备受好评的切割部水汽双流体喷嘴及离心清洗部水汽双流体喷嘴。此外，还可组合工作台水帘，以防止加工物表面微尘粒子干燥而引起的固结。
减少保养空间
从日常操作到保养都可从设备的正面进行。多台并列设置时，因为减少了侧面的维护区空间，所以在设置4台以往机器（DFD6362）的空间中可设置5台DFD6560。
加工物流程系统
取物夹将加工物从晶圆盒中取出，送到预校准台 →
在预校准台进行中心定位后，下取物手臂将加工物移到工作台 →
切割 →
上取物手臂将加工物移到离心清洗台 →
清洗和干燥 → 下取物手臂将加工物送到预校准台 →
取物夹将加工物送回晶圆盒中
Specifications
Specification Unit 1.8 kW High-speed rotation (option)
Max. workpiece size mm Φ300
X-axis Cutting range mm 310
Cutting speed mm/s 0.1 ～ 1,000
Y1･Y2-axis Cutting range mm 310
Index step mm 0.0001
Positioning accuracy mm Within 0.002/310
(Single error) Within 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 14.2 (For Φ2 inch blade)
Moving resolution mm 0.0000002
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 380
Spindle Rated torque N・m 0.29 0.19
Rotation speed range min‐1 6,000 ～ 60,000 20,000 ～ 80,000
Equipment dimensions(W×D×H) mm 1,240 × 1,550 × 1,800 81mm convex （left side）
Equipment weight kg Approx. 1,500
