然而，这些高速移动的设备对供电系统的稳定性、洁净度与免维护性提出了极端苛刻的要求，任何一次供电中断或一粒摩擦产生的粉尘，都可能造成巨大的损失。 如何在超洁净的环境中，实现稳定、可靠、洁净、免维护、可持续的电力传输？

AMHS-OHT晶圆运输环节：

洁净度与可靠性的双重考验

在晶圆厂洁净室中，OHT（天车）是晶圆厂AMHS系统中最为核心的物料搬运设备。OHT天车承担着Wafer（晶圆）和FOUP（前开式晶圆盒）在工艺设备间的空中搬运任务，其运行轨迹复杂、启停频繁，对供电系统的稳定性要求极高，即长距离高速行进中电能必须持续稳定输出；满足7x24小时全天候连续运转；满足无尘环境要求等。

法勒CPS非接触供电系统基于电磁感应原理，实现电源与移动设备间的无物理接触电力传输，从根本上消除了传统供电系统可能产生的粉尘问题，将洁净度风险降至零。该系统高效耐用、免维护，特别适用于OHT天车这类高频次搬运设备，保障7×24小时不间断运行。

非接触式供电系统在全球半导体行业OHT系统中得到成熟应用，实现了长期免维护的稳定供电。为进一步深耕半导体市场，法勒在其奥地利研发中心Schwoich基地专门建立了OHT研发测试设施，在模拟真实产线的轨道环境中持续验证非接触供电系统的动态响应、高效稳定、耐用免维护等显著优势。

自动化咨询电话：159 1097 4236

AMHS-Stocker&Stacker-Crane晶圆存储立库：

大功率需求的无间断供电保障

在晶圆加工制造流程中，与OHT（天车）协同配合的Stocker&Stacker（晶圆存储立库）也是实现半导体工厂Fully Auto的一个重要环节。

Stocker（晶圆存储立库）是半导体工厂的自动存储子系统，具备多层存放空间，专为半导体晶圆厂设计，旨在自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒，Stocker与OHT等自动化设备兼容以实现晶圆在不同工艺之间的流转。支持多种规格的载具，如FOUP（前开式晶圆盒）、RSP（掩模板传送盒）、Cassette（晶圆载具），等等。Stocker配备自动化操作功能，能够减少人工干预，提高生产效率和产品质量。同时它还具备环境控制能力，确保晶圆在存储和传输过程中的洁净度。

Stocker中的Crane（堆垛机）有多轴运动能力，包括行走、升降、伸缩和旋转，它们共同负责对Stocker内的料盒进行高度精确的搬运任务。Stocker内部料盒储位地分布在Crane两侧，Crane可以根据接收到的上位指令，精准地抓取和放置料盒，同时保持震动度极低，确保快速、稳定的物料传输速度。

相比较传统的坦克链设计，其每三至五年需要更换拖链中的电缆，以及颗粒杂质对半导体无尘车间造成的不良影响。法勒CPS非接触供电系统在此展现出明显优势：无物理接触、无机械磨损，从根源上消除摩擦微尘，保障洁净环境；响应快速灵活，无速度限制，匹配堆垛机多轴同步的高速运行；满足带平移道岔和升降段的个性化线路布局；7x24小时免维护运行等。