测量精度：2%；

微观测量: 粗糙度参数,波纹度参数,原始轮廓参数,珩磨网纹粗糙度参数,日本标准参数,法国标准参数三维形貌/三维表面粗糙度参数等；

宏观轮廓形状测量: 轮廓调平找正,长度, 高度,圆弧半径,间距,角度,形状误差,DXF/CAD功能.

水平测量长度: 0-120/200毫米.

水平测量分辨率: 0.01微米

垂直量程: 微观轮廓量程 +/-800微米,分辨率0.001微米，宏观轮廓量程40mm,分辨率0.06微米，花岗岩平台780x500 / 630x500,机动立柱行程400/800mm，可配标准,圆弧面,小孔,深槽,倒角,齿面的各种测头可配非接触表面测量的激光传感器和声表波传感器(选项)