SIG-V4超精密平面磨床

用途及材料：

用来研磨蓝宝石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料之超精密平面磨床

特点：

具有以往所没有的优异机械刚性

具有高刚性，可抑制加工中的负面因子，同时兼具高效率和低损坏姓

具有高刚性，可扩增工作台的直径，亦可用于6吋晶圆的批量加工

透过非接触式的厚度检测来测量加工品轮廓，亦能以高可靠度支援批量加工

以独创砂轮进行无打磨加工，维持稳定的质量，并降低停机时间

抛光用贴付板的自动搬送系统

加工程序能以配方管理执行简单操作

咨询：135 2207 9385

超精密平面磨床 加工实例