校正系统 用于校准的激光干涉仪
1/三束激光干涉仪SP5000TR
同时测量准确长度、俯仰和偏航角的三重光束激光干涉测量系统
最高精度的弹性长度测量系统
集成光束方向检测便于处理和调整
可使用各种光学反射器,例如:球形、平面反射镜
允许测量反射器的倾斜度最高为+12.5
紧凑型设计
铝、不锈钢或因瓦的传感器头设计
波束距离:12毫米
OEM版本,OEM软件和真空版本是可能的
具有可选择性的可调偏转镜的波束偏转
通过可选接口扩展应用范围
广泛触发选项
按现行有效标准校正软件
咨询电话：13522079385
工业和研究中的许多应用领域需要高度精确的同时位移和角度测量。在三反射器单元固定的托架的移动过程中,同时获得了俯仰角和偏航角以及长度测量,使快速和高精度地评估运动轴成为可能。快速、简单的传感器调整尤为重要。
SP5000TR三束激光干涉仪是将三个干涉仪组合在一起的精密长度测量仪器。所有三个测量通道都由一个具有相同高度稳定激光频率的光源输入。因此,三长度值可以同时测量纳米精度.从两个长度值和标定光束距离的差异出发,可以用高分辨率和高精度确定相应的角度。
干涉仪系统具有模块化设计,因此可以适应各种测量任务。
传感器头的光纤耦合和可选集成光束方向检测支持易于处理和精确调整。
我们的设计 SP5000TR三束干涉仪 紧凑有力。这使它成为工业和研究中高精度测量的理想。版本的OEM仪器也可以在真空中使用.
对于大型测量范围或大型物体的校准,建议使用无线无线电温度传感器或LCS精密气候测量站。
适用领域
引导、测量、显微镜和定位级的激光干涉测量
二坐标或多坐标测量的高精度俯仰和偏航角校正
测量机器和机床的校正
差数测量(膨胀测量、材料测试)
动态角测量,获取角振荡
按要求延长测量角度的测量范围
2/校准激光干涉仪SP 15000 C5
用于高精度同时测量和校准定位轴的长度、俯仰角、偏航角和直线度的激光干涉仪
最高精度的弹性长度测量系统
高度精确的长距离测量
同步、连续,并与一个可选的滚转角传感器结合,测量长度、斜角和偏航角的6个自由度
集成光束方向检测便于处理和调整
测量反射器的大倾斜不变性
波束距离:50毫米
旋转光学可测量的水平和垂直直度分量
广泛触发选项
Windows和Linux下OEM软件的开放接口
按现行有效标准校正软件
高精度的机械轴引导特性的动态采集以及随后的符合标准的校准是一个非常劳动和时间密集的过程,最终导致高定位精度。
… SP15000C5校准激光干涉仪 专门为满足坐标测量机和高精度机床制造商的要求而开发。它使同步,连续,并与一个可选的滚转角度传感器,6自由度测量.通过激光干涉测量,在所有三个长度测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率,获得了X线和Y线的测量量长度、俯仰角、偏航角和直线度。
完整的机器验收或体积补偿可以使用可选的软件实现。
由于直线光学的紧凑设计,直线镜直接连接到传感器头上。因此,只有两个组件需要组装并相互匹配。即使在拥挤或难以进入的空间,测量系统也可以快速安装和可靠调整。
传感器头的光纤耦合和集成光束方向检测支持了处理和调整的方便性。校准干涉仪不需要额外的支架。它可以直接放置在稳定的机床上。这样可以最大限度地减少要校准的光学元件的数量。
对于大型测量范围或校准任务,无线无线电温度传感器或我们的LCS精密气候测量站是首选。