高精度测量系统
光学和触觉测量技术,用于超精密测量,直到皮米范围。
SOS提供了广泛的精密测量系统和激光干涉测量装置。发现我们的产品组合,以衡量 长度、角度、振动、直线度、温度、力等测量指标,分辨率最高,测量不确定性较低 在下面。
我们的高精度测量系统用于纳米测量、机械工程、光学和半导体工业、校准、质量控制、材料管理、医学技术和地球科学以及工业和科学领域的研究与发展。
科学和工业界都相信SISOS的高精度测量系统.
长度测量系统 模块激光干涉仪
1、激光干涉仪SP5000
高精度长度测量用激光干涉测量系统
最高精度的弹性长度测量系统
集成光束方向检测便于处理和调整
可使用各种光学反射器,例如:三层镜、球形镜、平面镜
允许测量反射器的倾斜度最高不超过15.
紧凑稳健的设计
带防飞溅水的传感器外壳
铝、不锈钢或因瓦的传感器头设计
可追溯到政府标准
OEM版本,OEM软件和真空版本是可能的
可选择接口的扩展应用范围
广泛触发选项
高精度和可靠的结果对于 长度测量和校准 在引导、测量、显微镜和定位阶段,坐标测量机器和机床,以及多坐标测量。我们的普遍性 激光干涉仪SP5000纳克 是高精度长度测量的解决方案,可以在任何时候使用产品系列中的其他组件来完成新的测量项目。
契约书 SP5000纳克干涉仪其特点是操作简单,调整又快又简单.它在不同的环境和操作条件下提供了非常精确的测量结果。在内置传感器的帮助下,干涉仪的对准简单、快速和非常精确。因此,可以避免由于传感器定位错误而引起的错误.精密干涉仪也可作为真空版。
激光干涉仪的设计既紧凑又坚固,其外壳是防喷溅的,而且可以对光纤电缆进行护套以保护其免受机械损伤。
适用领域
用于测量、显微镜和定位级、测量和机床、硬度和材料测试设备的激光干涉精密长度测量系统
多坐标测量,例如平面桌上
校正线性编码器
冲击和跳出测量
2、长程激光干涉仪p15000
用于长距离高精度测量的激光干涉测量系统
最高精度的弹性长度测量系统
高度精确的长距离测量
易于调整和处理
测量范围可达80米
紧凑型设计
广泛触发选项
Windows和Linux下OEM软件的开放接口
SP15000纳克远程激光干涉仪 专门为 长距离测量长度 不断地建立在 SP5000纳克 产品家庭。传感器头具有额外的光学,可以优化地将激光束适应于大的测量长度。
大型坐标测量机和机床、长线性轴和校准距离是这种精密线性编码器的主要应用。在测量过程中,室内或测量位置的温度分布对测量结果的正确性起着决定性的作用。因此,我们建议将干涉仪与我们的LCS精密气候测量站结合起来,用于高精度的应用。
适用领域
用于测量、显微镜和定位级、测量和机床、硬度和材料测试设备的激光干涉精密长度测量系统
多坐标测量,例如飞机桌
校正线性编码器
3、差动激光干涉仪SP5000Di
咨询电话：13522079385
具有两个平行测量光束的高稳定性微分激光干涉仪
最高精度的差幅长度或角测量
通过差别测量尽量减少环境影响
热长期稳定传感器,温度灵敏度&20纳米/k
可使用各种光学反射器,例如:球形、平面反射镜
测量反射器的大倾斜不变性
不锈钢传感器头设计作为标准
波束距离:21毫米
广泛触发选项
Windows和Linux下OEM软件的开放接口
我们的超稳定差 SP5000迪激光干涉仪 具有独特的热稳定性,因此在研究和开发中更适合长期测量。用于分析材料的性能。
与之形成对比的是 标准干涉仪 在差速器版本中,参考光束被引导出传感器头,并与测量光束平行运行。这一概念允许传感器与实际测量位置的距离更大,而不会严重影响测量的分辨率或稳定性。该干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内,由于差动原理,即使在正常实验室条件下,也可以达到类似的测量或光束长度。
如果使用倾斜不变反射器进行测量,长度测量的测量范围可以是几米。干涉测量系统具有模块化设计,因此可以适应各自的测量任务。
调整是简单的,特别是可以实现长期稳定。扩展到基于 SP5000Di 干涉仪允许同时多坐标测量。
适用领域
差动激光干涉仪可作为OEM版安装为机器轴编码器。对于真空测量,SP5000Di是一个真空优化版本。
标准光束距离为21毫米。我们根据要求提供其他光束距离。