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日本电子株式会社JEOL离子束抛光机

时间:2024/7/2 11:14:39     企业:欧洲机床与智能制造网

 1、日本电子株式会社JEOL离子束抛光机JIB-4000PLUS

 

产品介绍

JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后,能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能,能对应多种制样需求。


高性能FIB镜筒

JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒,最大离子束流高达 60 nA,可以扩展到90nA大束流(为可选件),能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨,100 μm以上的大截面也可以在短时间内制成。

 

用户友好的FIB装置

JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性,外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作; 此外,该装置小巧紧凑为业界最小体积,安装场所的选择范围很大。


双样品台

JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用,此外还可以增配侧插式测角台(TEM用Tip-on 样品架可以直接插入)。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用,这样,FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。

 

3D观察功能

为了进行3D观察,设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB,但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件,可以将收集到的截面图像重建为3D图像,可以从各种角度显示3D图像。

 

自动TEM制样功能

自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能,制样不需要有很高的技能,任何人都能简单地制样,也可以对多个样品自动制样,提高工作效率。 :

 

丰富的附件

有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统,对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件,该系统可以支持样品制备以外的应用。

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产品规格型号

轴数量   3轴

卧式/立式 通用

应用    用于光学仪器

其他特性  紧凑型, 高性能, 高速, 离子束, 铣刀, 大功率

X轴    11 mm(0 in)

Y轴    15 mm(1 in)

Z轴    最多: 23 mm(1 in);最少: 1 mm(0 in)

 

2、日本电子株式会社JEOL离子束抛光机IB-19520CCP

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产品介绍

IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

冷却的效果  样品:镀锌钢板

可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。

 

★ 进程监控功能

截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。

★ 防止充放电的喷镀功能

备有离子束溅射功能(选配项)

可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。

最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。

★ 平面离子减薄样品架

以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。

另外也非常适合于选择性蚀刻。

★ 截面样品制备单元

安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。

可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。

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产品规格型号

加工材料  用于金属

应用    用于制备试管

其他特性  表面, 平面, 数码, HSC

作业宽度  500 µm

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