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德国G&N6寸晶圆研磨机MPS2 R300 CV

时间:2024/8/12 14:00:24     企业:欧洲机床与智能制造网

 产品简介

德国G&N公司前身为1940年成立的德国Kugelmüller有限公司,并于1964年开发了世界第一台半导体晶圆研磨机。MPS2 R300 CV型晶圆研磨机是德国G&N公司开发的一款6寸晶圆研磨/减薄系统,采用了G&N公司最先进的研磨技术,主要用于对半导体晶圆进行减薄与精密研磨,该系统采用一个主轴,可安装粗磨砂轮和精磨砂轮,系统稳定性好,研磨精度高,适合科研客户及小批量生产客户。

 

 技术特色

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- 立式进给研磨加工方式,通过金刚石砂轮对晶圆进行高速减薄加工

- 兼容2,3,4,5,6寸晶圆减薄与研磨

- 一个主轴可安装粗磨砂轮与精磨砂轮

- 粗磨和精磨自动转换

- 砂轮进给采用高精度伺服电机进行控制,磨削精度高

- 系统采用高精度平衡系统,可补偿在减薄过程中抖动,加工稳定性好,重复加工精度高

- 全封闭研磨区

- 砂轮为金刚石或者CBN

- 多种不同粒度和材料的砂轮用于研磨不同的材料

- 高精度PLC控制器

- 最低限度的TTV

- 可设置多个recipe程序自动运行

- 多种尺寸的真空夹具

- 可配置膜厚测量模块

-对话式人机PC操作界面,触摸屏幕,操作简便,可储存多个recipes

 

主要参数:

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咨询电话:13522079385

产品应用:

可研磨多种半导体材料,如AlN; Al2O3; GaAs; K2O,GaN; Ge; InP; Si; SiC; Si2N4等

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