陀螺仪谐振子是陀螺仪的重要组成部分，特别是在半球谐振陀螺仪中，它扮演着核心角色。陀螺仪谐振子通常采用物理化学性能稳定的材料加工而成，如熔石英，以确保其具有较高的品质因数。为了保护谐振子，它必须被固封在高真空环境中。
在半球谐振陀螺仪中，谐振子通过焊接与支撑杆相连，焊接的刚度直接影响非敏感方向输入加速度的影响大小。
因此，即使是对陀螺仪有着较成熟的理论研究，但如果材料的性能达不到理论要求或焊接工艺水平不够，也无法成功制造出陀螺仪谐振子。
这表明，陀螺仪谐振子的制造不仅需要高精度的材料处理，还需要精湛的焊接技术，以确保其性能和稳定性。
下面就介绍一下半球谐振子加工解决方案：（咨询电话：13501282025）
1、以UPG-650超精密磨床以及PF6-250等离子体机床为核心的半球谐振子生产线，可在数小时内实现频差<1mHz的振子快速生产。
2、超精密磨削
UPG-650超精密磨床，回转精度<10nm，塑性域磨削可降低亚表面损伤，提高振子Q值。
3、几何误差测量
自研非球面测量机，接触式、非接触式双测头。可测量获得外球面圆度误差、内球面圆度误差、同轴度误差。
4、等离子体修形
PF6-250等离子体修形机床，可修整外球面圆度、内球面圆度、内外球壳同轴度以及中心柱同轴度。15分钟内可实现谐振子<100nm的圆度修形，圆度精度可提高一倍以上。
5、激光测振
HRM-2自研整体式激光测振系统，测量获得半球振子的频差、Q值、T值，获取刚度轴角度、确定质量调平位置以及去除质量。
6、等离子体质量调平
PF6-250大气压下等离子体加工设备，加工完即可测振。与HRM-2测振系统协同进行多次迭代加工，在总时间10分钟内实现频差<1mHz的质量调平。