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英国ZEEKO气囊光学抛光机

时间:2024/9/12 9:14:02     企业:欧洲机床与智能制造网

 英国ZEEKO抛光机售后服务

介绍:
1.ZEEKO系列光学抛光机被称为IRP系列设备(智能自动抛光机)。
2.此系列抛光机的尺寸从IRP 50(最大零件尺寸50mm×50mm)到IRP 3000(最大零件尺寸为3000mm×3000mm)不等。
3.在IRP 50(和其他类似机器)上可抛光的最小直径约2.5mm(以光学设计为准)。
4.抛光工具的尺寸从R540、R240、R160到最常用的R80、R40和R20不等。
5.在自适应抛光工具中,有较小的半径为R-10到R-2、R-1、R0.4mm(R-0.05mm将在未来引入)。

机器的产品特点:
1. 可抛光非球面和自由曲面。
2. 可抛光其他高难度的几何形状;如半球,超半球,Wolter 掠入射反射镜和许多其他复杂曲面。
3. 可抛光许多不同的且难以加工的材料,如碳化物、晶体材料,低膨胀玻璃、硬质合金、红外材料等。
4. 新的ZephyrCAM软件操作简单。
5. 低运行成本。

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咨询电话:13522079385

抛光工艺:
所有的Zeeko设备都可以执行以下工序:
1. 形状自适应磨削——一种类似于可延展性的研磨形式进行抛光。
2. 气囊抛光——经典的Zeeko工艺。
3. 射流抛光和超声射流抛光。

测量:
大型机器的内置测量包括:
1. 内置干涉仪系统并和Zeeko相匹配的测量塔,集成在机器上。
2. Zeeko 子孔径成像处理拼接软件。
3. 白光技术作为附件集成在内,用于表面结构分析。
4. 可在选定的机器上内置和集成的摆动臂轮廓测量。
5. 可在选定的机器上安装综合扫描五棱镜轮廓仪。

软件:
新Zeeko ZephyrCAM软件具有早期版本的所有特点,以及便于使用的界面和能力,例如:
1. 生成用于抛光多个表面和多个侧面的工具路径。
2. 使用“特殊”Zeeko设计或“用户设计”工具。
3. 通过绘制工具表面几何形状,使用不同的加工角度进行抛光。
4. 运行“关闭虚拟枢轴”工具。
5. 抛光有难度的几何形状,如半球、超半球、Wolter掠入射反射镜和许多其他复杂表面。
6. 达到3埃以下的粗糙度。
7. 控制和消除许多中频效应,并从多种复杂的工具路径中选择来控制中频效应的产生。
8. 从多种不同的工具路径技术中选择限制和控制边缘效应。
9. 使用Zeeko“SAG”(形状自适应磨削)工具的范围。 在6轴机器人和5轴加工中心上进行预抛光。

机器型号及功能简介
1.IRP 50
IRP 50配有所有可选的抛光液循环系统,(蠕动泵,低压和高压集成SMU)。它也可以提供所有三种不同的抛光工艺SAG(形状自适应磨削式抛光),经典气囊抛光和射流或超声射流抛光)。它是一个非常好的量产型机器。
2.IRP 100
IRP 100比IRP 50机器外形尺寸更大,但具有相同的功能。它不仅是一款同样高效的量产机器,也是一款可用于科研的好机器。
3.IRP 200 MKI
IRP 200 MKI是Zeeko系列机器中的经典款机器并仍在生产中,企业可用于实验室研究和小批量多品种产品的生产。
4.IRP 200 MKII
IRP200 MKII 是在MKI基础上发展而来的量产型机器,配有直接驱动的A,B轴,直线电机和线性编码器。具有使用寿命长,维护成本低,高性能等特点。
5.IRP 400
IRP 400是“II型”虚拟枢轴机中外形尺寸最小的,因此非常适合长半径光学器件。较短半径光学器件更适合于IRP 600和较小的IRP 200机器。

 

英国Zeeko气囊抛光技术

 气囊抛光技术是英国Zeeko公司和伦敦大学光学实验室的Walker等人在2000年左右提出的。

下图所示为Zeeko公司气囊抛光机床。

其基本原理是利用多层材料(一般采用橡胶或性编织物的混合材料)压制形成球形的气囊基底,然后在气囊表面粘附一层聚氨酯抛光垫,通过抛光头的自转和主轴的公转,获得近高斯形的去除函数。

气囊抛光的优势在于:

1) 气囊内部压力可控且可与工件表面紧密贴合,是一种可控的柔性加工方法。

2) 研抛过程中,气囊自转轴与工件局部表面法线成一夹角,并绕该法线做类似陀螺运动的进动运动,接触区域内速度轮廓平均,被加工表面纹理均匀且无序,有利于形成很好的表面质量。

3) 气囊与工件表面接触面积连续可控,因此不需要更换不同直径的研抛工具就能实现抛光的全过程加工,提高加工效率。

目前,在光刻物镜的加工中,气囊抛光技术已经作为离子束抛光前期的主流加工技术。

但是,单独应用于米级口径以上大型光学非球面的加工的报道较少,主要原因在于气囊抛光的抛光斑尺寸小、材料去除率小,在加工大口径非球面时所需的加工时间很长,并且容易产生中高频误差。

因此,气囊抛光应用于更大口径非球面研抛需要进一步提高加工效率、抑制中高频误差同时解决好边缘效应问题。

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图 (a) 气囊抛光原理示意图;(b) Zeeko IRP400气囊抛光机[32]

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