1、离子束抛光机IFS300A
畅销的离子束抛光机
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄，
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
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名称
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参数
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加工能力
（最大工件尺寸）
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300mm×300mm
厚度100mm
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可加工面形
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平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
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可加工材料
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石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
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可加工精度
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亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工
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X轴行程
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≥300mm
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Y轴行程
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≥300mm
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Z轴行程
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≥300mm
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离子源
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美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源
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中和器
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美国 Veeco HCN / 德国
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工作真空建立时间
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≤1 hours
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副室真空建立时间
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≤15 min
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X轴最大运动速度
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5m/min
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Y轴最大运动速度
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5m/min
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Z轴最大运动速度
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3m/min
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运动轴重复定位精度
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≤±0.01mm
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保护功能
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具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
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智能功能
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具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
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外形尺寸
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长宽高：2.5x2.5x2.1m
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整机重量
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4吨
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能耗功率
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Max:12KW Avg:5KW
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2、离子束抛光机IFS1000-600B
咨询电话：13522079385
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄。
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
智能功能：具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
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名称
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参数
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加工能力
（最大工件尺寸）
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1000×600mm，250mm厚
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可加工面形
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平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等；
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可加工材料
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石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等；
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加工光学元件精度
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亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工；
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X轴行程
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≥1100mm
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Y轴行程
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≥700mm
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Z1轴行程
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≥300mm
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Z2轴行程
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≥300mm
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离子源
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美国Veeco HC 5cm / 德国射频源
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工作真空建立时间
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≤1 hours
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副室真空建立时间
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≤15 min
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X轴最大运动速度
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5m/min
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Y轴最大运动速度
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5m/min
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Z轴最大运动速度
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3m/min
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运动轴重复定位精度
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≤±0.01mm
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保护功能
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具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
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智能功能
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具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
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外形尺寸
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长宽高：3.8×3.2×2.6m
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整机重量
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9吨
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能耗功率
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Max:18KW Avg:7KW
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