1063WAFERMILL™离子光束延迟解决方案
离子束制备
延迟器从上到下的全晶片上多个预选区域。整个过程都是完全自动化的；无需手动触摸晶圆。晶圆溶液支持计量学，包括CD-SEM样品制备。
MODEL 1063 WaferMill™ 离子束分层解决方案
从顶部开始对完整晶圆上的多个预选区域进行分层。全自动工艺支持半导体处理的所有阶段，适用于CD-SEM（关键尺寸扫描电子显微镜）样品制备。
Model 1063 WaferMill™ 离子束分层解决方案 规格说明
应用
近线和在线设备前端模块（EFEM）
设备前端模块（EFEM）
由Brooks Automation制造，包括以下组件：
300 mm前开式统一盒（FOUP）加载站，可容纳最多25片晶圆
配备被动末端执行器的四轴晶圆搬运机器人
预对准器，根据CD-SEM要求定位晶圆缺口
控制器单元
预抽真空室
300 mm VAT阀门接口，连接EFEM和负载锁
双波长紫外（UV）灯（253.7 nm 和 184.9 nm）安装在预抽真空室内
负载锁
300 mm VAT阀门接口，连接预抽真空室和工艺腔室
晶圆存在传感器指示晶圆是否在负载锁内
真空系统
两个专用涡轮分子泵：一个在预抽真空室，一个在工艺腔室
无油隔膜泵